Spektrometria dyspersji energii promieniowania rentgenowskiego (EDS)
Spektrometria dyspersji energii promieniowania rentgenowskiego (EDS) polega na bombardowaniu powierzchni obiektu badanego wiązką elektronów w celu uzyskania emisji charakterystycznego promieniowania rentgenowskiego. Odpowiednie oprogramowanie dokonuje identyfikacji poszczególnych pików na wykresie, a pole pod obwiednią danego piku jest miarą zawartości danego pierwiastka. Analiza EDS może być jakościowa lub ilościowa.
Mikroanaliza EDS jest często wykonywana przy użyciu przystawki do skaningowego mikroskopu elektronowego, można przeprowadzić analizę:
- punktową, która umożliwia identyfikację wydzieleni lub wtrąceń,
- liniową, najczęściej wykorzystywaną w badaniach warstw dyfuzyjnych,
- polową/powierzchniową, która pozwala na uzyskanie uśrednionego składu chemicznego badanego mikroobszaru.
